如果黑色表面有任何變化,請(qǐng)參考設(shè)備制造商的說(shuō)明。
注1:黑板溫度計(jì)與黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)的不同之處在于前者固定在絕緣支架上。測(cè)量的溫度相當(dāng)于在低熱導(dǎo)率基底上涂有黑色或深色涂層的暴露模板表面的溫度,淺色涂層模板的暴露表面的溫度通常較低。
注2:測(cè)試模板表的溫度取決于許多因素,包括吸收的輻射總量、模板的熱導(dǎo)率、模板和空氣之間的熱導(dǎo)率以及模板和模板框架之間的熱導(dǎo)率。因此,模板的表面溫度無(wú)法預(yù)測(cè)。
注3:在典型的暴露試驗(yàn)條件下(非高輻照度試驗(yàn)),黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)測(cè)得的溫度比黑板溫度計(jì)測(cè)得的溫度高約5℃。在高輻照度試驗(yàn)條件下,兩者之間的溫差會(huì)增大。
注4:黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)也稱為絕熱黑板溫度計(jì)。黑板溫度計(jì)也稱為非絕熱黑板溫度計(jì)。
為了在曝光過(guò)程中測(cè)量模板表面的溫度范圍,并更好地控制設(shè)備的曝光條件,除了黑板溫度計(jì)或黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì),還建議使用類似黑色標(biāo)準(zhǔn)或黑板溫度計(jì)設(shè)計(jì)的白色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)或白板溫度計(jì)。為此,使用抗老化白色涂層,其反射波長(zhǎng)為300納米至1000納米的至少90%的輻射和波長(zhǎng)為1000納米至2000納米的至少60%的輻射。
聚威儀器有限
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